Laboratoire de l'Intégration du Matériau au Système

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Analysis & Stand

Presentation

The STAND platform is dedicated to construction and failures analysis and to the implementation of accelerated aging. this permit to realise the physical caracterization of micro-electronic, to elaborate data bases (geometric, chemical) for thermo-mechanical or electrical simulations model, to localise defaults by non destructive technics (acoustic, EDX analysis, electro-thermic caracterization...)

Equipments
Parc d'instrumentation :

Préparation des échantillons mécaniques, chimiques et plasma.

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Prépolissage 

Imprégnation sous vide 

Enroubage des composants

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Finition par polissage automatique

Découpe de précision diamant

 

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Banc d'examen optiques et analyse d'images

Examen électronique et micro analyse EDX

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Observation électronique haute résolution + analyse EDX (Plateforme Elorprintech)

 

Analyse non destructive par nano foyer RX

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Microscope acoustique

 

Profilomètre à stylet DEKTAK

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Microscope AFM INNOVA

 

Profilomètre optique

  Mesures de la déformée d’un assemblage (surface 3D, profil 2D)

  en température jusqu’à 300°C.

  C’est un appareil de mesure sans contact.

  (La source lumineuse est un faisceau de lumière blanche)

  . Profilomètre  ALTISURF 500 (Résolution:10nm)

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Micro-System Analyser MSA 500

Analyse de microstructure en mouvement

  MEMS, capteurs,..

  Dynamic Out of Plane Measurements

   Laser Doppler Vibrometry  

  Scanning system Frequency: 0 … 20 MHz   max. velocity : ± 10 m/s

  Dynamic In Plane Measurements

              Stroboscopic Video Microscopy
  Frequency: 0 … 2 MHz
  Resolution: 1 nm

   
Contact

 

         
Bernard Plano          

Skills